光刻机进场 开启“芯”动力

昨日10时40分左右，在广州增芯科技有限公司一期厂房的洁净室内，在光刻区特有的淡黄色的灯光下，身穿防尘服的工作人员正忙着为新搬入的光刻机进行定位。

　　当日，增芯科技12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（简称“增芯项目”）光刻机搬入活动在项目现场举行，这标志着增芯项目迎来建设的关键性节点，进入调试投产准备阶段。

　　正式通线量产指日可待

　　项目布局：近年来，增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，在培育发展集成电路产业方面，相继布局了增芯、越海等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目，覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。

　　增芯项目是广东省、广州市重点项目，打造国内第一条12英寸智能传感器（MEMS）及特色工艺生产线，对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。

　　当天上午，记者在增芯项目现场看到，伴随着屏幕上光刻机从制造下线到运输送达的纪录片，在全场嘉宾的见证下，承载着光刻机的车辆缓缓启动，将设备运入厂房，完成了增芯项目的重要历史时刻。

　　“可以说，光刻机一进场，距离正式通线量产就指日可待。”增芯科技有限公司总经理张亮在现场接受采访时表示，光刻机作为整个集成制造中最关键的核心设备，资金投入占比高达工厂建设25%。

　　据张亮透露，此次光刻机的搬入，意味着增芯项目迎来建设的关键性节点，顺利进入调试投产准备阶段。“我们计划在今年6月完成首批设备的安装，今年12月底完成满足良率的产品下线，目前这两个节点正在顺利推进中。”

　　增芯项目自2022年底动工起，仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设，实现了“开工一年装机”，封顶至今仅5个多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机，步入设备安装调试阶段，充分展现了敢为人先的“增城速度”“增芯速度”，切实为广州东部中心成型起势提供强支撑、“芯”动力。

　　“2021年，我也曾站在这里，拿着手机拍过几张照片，那时还是杂草可齐腰、牛羊在吃草的田园景象。”广州智能传感器产业集团董事长、上海兴橙投资董事长、广州增芯科技有限公司董事长陈晓飞回想三年前项目的场景，充满感慨，“如今，增芯经过了9个月土建封顶，12个月首台套设备搬入，今天更是迎来了工厂最核心设备——光刻机的搬入，我们一步一个脚印，信心满满，充满希望。”

　　“这几年，我们抓住集成电路产业这一新质生产力高速发展的时间窗口，在增城国家级开发区，全力以赴规划发展半导体第三极，为高水平科技自立自强注入全新力量。”陈晓飞表示，作为民营企业，决心与产业界的上下游一同打造大湾区的“硅谷”，打造出中国集成电路的又一生态圈。

　　做好全链条要素保障

　　目前，增城正不断加快建设高端电子信息新材料产业园，加速打造智能传感器产业园，着力推动全产业链条完整集聚，构建粤港澳大湾区的半导体产业聚集区和产业高地，助力广州打造全国集成电路产业集聚区，助力广东打造国家集成电路产业发展“第三极”。

　　作为广州半导体与集成电路“一核两极多点”产业格局中重要两极之一，未来，广州市和增城区将全力以赴优化营商环境，继续提供最优质、最便捷、最高效的“全生命周期服务”，大力支持增芯项目建设，做好全链条要素保障，保障顺利投产。