江苏省委书记信长星赴先导集成电路产业园 江苏微导纳米科技股份有限公司调研

7月10日，省委书记信长星到先导集成电路产业园-江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）调研，先导集团董事长、微导纳米实控人王燕清，微导纳米总经理周仁，CTO黎微明博士陪同。

王燕清介绍了先导集成电路产业园的现状及规划，目前产业园已经孵化了5家半导体装备公司，包括了国内领先的半导体集成电路薄膜工艺装备企业微导纳米（股票代码：688147.SH）、国内领先的先进制程核心前道外延及刻蚀装备企业天芯微、国内领先的化合物外延设备制造企业先为科技、国内领先的减薄抛光和激光设备企业元夫半导体，以及集成电路高纯电子化学品容器装备公司容导科技。

王燕清介绍了微导纳米在发展过程中取得的突出成果：微导纳米2018年启动半导体产品探索和研发，2020年成功推出半导体集成电路前道High-k工艺专用原子层沉积（ALD）设备并于次年完成量产验证，是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司。微导纳米多年深耕半导体集成电路及泛半导体薄膜沉积高端工艺，2023年成功推出高温无定形碳工艺专用PECVD设备并取得重复订单，满足客户在多个技术节点和工艺环节对薄膜沉积设备的需求，填补了国内半导体集成电路关键技术空白。

周仁介绍了微导纳米近年来业绩持续高速增长的情况，是国内半导体公司少见的发展速度。截至2024年第一季度，公司在手订单81.91亿元，其中半导体在手订单11.15亿元，3年多的时间迅速突破销售10亿大关，体现了市场及客户的高度认可。

信长星详细了解发展历程、技术创新、市场销售以及产业链协作等情况，对企业积极构建功能完备的研发平台、梯次推进的产品体系表示赞许。他指出，专精特新企业、“小巨人”企业是培育新质生产力的重要力量，只要技术领先、产品过硬，一定会蓬勃发展、成长壮大。希望大家坚定信心、鼓足干劲，瞄准国际先进水平，聚焦主业精耕细作，加快技术迭代和产品升级，在开拓创新中增创发展新优势。